臺灣某半導體企業的廢水處理工程實例
更新時間:2012-12-20 10:55
來源:中國給水排水
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摘要: 根據半導體工業廢水的特點,將其分為無機(氟系)廢水、有機廢水、酸堿廢水三部分,分別采用化學混凝、MBBR反應池、中和等方式進行處理,處理后合流排出。簡述了各構筑物的設備配置、設計參數等,該工程采用全過程計算機控制,自動化程度高,處理效果較好。
關鍵詞: 半導體企業廢水; 化學混凝; MBBR反應池; 中和
臺灣某半導體企業的廢水處理工程設計處理規模為1. 4 ×104 m3 /d,總投資為2. 5 億新臺幣,于2005年2月開始運行, 2005年5月通過新竹監測站監測驗收至今運行良好。
該企業在建廠時充分考慮了廢水處理要求,將半導體生產工藝流程中的廢水大致分為無機(氟系)廢水、有機廢水、酸堿廢水三部分,分別處理以達到排放標準。
1 設計水質、水量
設計水質、水量見表1。
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