電子工業超純水
電子工業用超純水的工藝流程
電子行業制備超水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙、碳過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙、碳過濾器→精密過濾器→反滲透設備→原水箱→純水泵→混床→后置精密過濾器→純水箱→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙、碳過濾器→保安過濾器→一級反滲透設備→原水箱→二級反滲透設備→純水泵→電去離子（EDI）→純水箱→輸送泵→UV燈→精混→精密過濾器→用水點
