阿瑞斯-μVOC AMC空氣分子污染物ppb級VOC監測系統
 |
人氣：1754 發布時間：2020-11-12 10:22 關鍵詞：AMC監測 AMC在線監測 AMC在線檢測 空氣分子污染物監測 ppb級VOC 潔凈間AMC 半導體潔凈室氣體分析儀 產品型號：阿瑞斯-μVOC 應用領域：固廢處置 產品價格：0 想了解更多產品詳情，請 |
空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產過程是關鍵性因素，特別是微電子行業，有機污染物是生產過程中的消極因素，會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。
無空氣分子污染物生產是理想的生產目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。
阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實時快捷持續的在線空氣分子污染物AMC監測方案，不需要采樣，離線測量。
檢測限達到sub-ppb級
特點：
在線連續質量監測全部自動化系統
低濃度VOC監測
獨立分開測量有機物成份
Sub-ppb檢測限
集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能
應用：
潔凈間污染物監測
過濾器狀態監測
加工過程全組份測量診斷污染物
在新風空調箱（MUA）、高效過濾器（FFU）、生產機臺上方SWIF下方安裝化學過濾器，實際生產過程中過濾器的維護和更換，如果太早或者太遲都會引起產品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產事故，停產。
帶有16通道的 阿瑞斯-μVOC 系統可以監測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當進來的氣體不符合過濾標準時采樣點位于進風系統上游；當吸收能力耗盡時采樣點位于下游。
工作原理：
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術，這種技術依賴于揮發性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。當不同的揮發性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，獨特的吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。
