CS CLEAN SYSTEMS干式工藝廢氣處理
來源:CS CLEAN SYSTEMS 閱讀:1517 更新時間:2010-09-30 11:40一般來說,晶片處理,太陽能和微機電(MEMS)工業所采用的絕大多數專業工序氣體都是可自燃的,或有毒的,或有腐蝕性的。
CLEANSORB廢氣處理系統能夠在室溫下通過化學轉換(化學吸收的)方式清除危險工藝氣體,生成穩定的鹽。 操作無需外部加熱、加濕或其它設施。 因此,CLEANSORB系統為完全被動式,隨時可使用,即使是在斷電或其它設施無法使用的情況下。
CS CLEAN SYSTEMS的全球客戶能夠享受我們的本地服務,由我們負責把使用過的CLEANSORB吸收劑桶收集和重裝填,該吸收劑桶是我們的專利產品,是經過聯合國批準的可重復使用運輸容器。
多種CLEANSORB型號尺寸可用于滿足從小規模大學研究員到全天候晶片制造的不同客戶的需求。
CLEANSORB Stand Alone系列
排氣凈化器
專為小型研究室設計的獨立藥桶,無需氣柜和或監控設備。
CLEANSORB LABLINE系列
適用于研究室的排氣凈化器,
安裝在小型柜子內的迷你 型CLEANSORB 干式吸收劑桶。 被動操作的LABLINE設備永遠處于就位狀態,不需要在每臺新設備運行之前啟動。 因此,它非常適用于無規律性的研發項目。 我們的產品具有更長的吸收時間,往往長達數年。
CLEANSORB BASE LINE系列
系列是一種不需要控制電子的智慧設計。它是一種手操作的堅固基本模型,為對成本敏感性高的應用方面的最佳選擇
CLEANSORB SC 系列
單桶排氣凈化器
這是最適用于實驗和大規模生產環境用的廢氣清除的標準設備。 其操作簡單,操作員只需少許培訓即可操作。 安裝設施的供應要求極少, 幾乎全面保修。
CLEANSORB DC 系列
雙桶排氣凈化器
雙桶("DC")的設計可帶來無間斷的運行: 在一桶被拆下重新裝填時,另一桶可以繼續操作使用, 使該系統保持著100%可靠性的記錄,即使是在最嚴酷的工藝應用條件下也如此。 CS CLEAN SYSTEMS保證17000小時的MTBF。