真空泵機組圖片
更新時間：2011-05-25 14:20
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干式螺桿真空泵介紹
MAHA變螺距干式羅桿真空泵，設計緊湊，運行高效。螺桿與軸一體加工，最顯著的特點是無需密封液，從而避免了密封液對介質的污染。它與傳統的等螺距設計不同，而是采用了專利的可變螺距設計，可節省30％的能量，氣體排放溫度更低，從而無須冷卻凈化。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達0.005Torr。MAHA系列結構緊湊，高效節能的螺桿式真空泵。該泵的最大特點是螺桿變螺距設計，該泵比其他競爭者的干泵節能達30%以上，排出的氣體溫度也更低。干式螺桿真空泵腔內完全無水無油，直通氣路設計，MAHA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。
螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內 ( 柱形等螺距 ) 進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。這種類型的泵如果選用適當的較簡單螺桿牙型截面，則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。
MAHA變螺距真空泵，異形螺桿真空泵與MAHA等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結構。螺桿轉子呈中空形，為懸臂支承結構。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過聯軸節與主動轉子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結構對排除含微塵氣體較為有利。
MHSP干式螺桿真空泵運轉時泵腔內完全無水無油，由于是直通氣路設計，MHDP和MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。由于泵腔內沒有金屬與金屬間的接觸，磨損也就大大減少了。MAHA真空泵MHSP SHHP和MHDP干式螺桿泵都是水冷系統.
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干式螺桿真空泵的典型應用：
• 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
• 半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
• 除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求
• 在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵
• 用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染
• 化學和醫藥流程
• 溶劑回收
• 成型
• 結晶
• 干刻
• 濺鍍
• 蒸氣回收>
…..空中模擬
>MAHA干式螺桿真空泵的特點優點
1.MHDP等距干式螺桿真空泵
MHDP泵是等螺距設計，可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbara），極限真空可達0.005Torr（0.008mbara）在運轉過程中沒有油或水，泵腔無部分接觸，簡單，堅固的設計可以處理工作中的副產品一液體，冷凝物，甚至小顆粒，短氣通道可以使泵迅速排放，直接驅動或V皮帶有加長的轉子，操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內完全水無油，直通氣路設計，MHDP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。主要特點：
沒有油或水和過程氣體接觸
運行部件之間無金屬相互接觸
簡單緊固的設計可以處理工作時產生的副產品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
節省空間的C型發動機設計除去了連軸器和防護裝置的需要
泵內氣通道較短，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
型號 CFM/m3/h HP/k W
MHDP-150 120/150 5/4
MHDP-330 270/330 9/7
MHDP-400 330/400 20/15
MHDP-800 660/780 26/20
2.MHSP變螺距干式螺桿真空泵
MHSP變螺距干式羅茨真空泵，設計緊湊，運行高效。最顯著的特點是無需密封液，從而避免了密封液對介質的污染。它與傳統的等螺距設計不同，而是采用了專利的可變螺距設計，提高了效率，降低了排出氣體溫度,從而無須冷卻凈化,可節省30％的能量，這是該泵的最大特點。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達0.01Torr（0.013mbar a）。干式螺桿真空泵腔內完全無水無油，直通氣路設計，MHSP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體
MHSP主要特點：
• 沒有油或水和過程氣體接觸
• 運行部件之間無金屬相互接觸
• 簡單緊固的設計可以處理工作時產生的副產品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
• 節省空間的C型發動機設計除去了連軸器和防護裝置的需要
• 泵內氣通道較短，氣體排放更迅速
• 即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
變螺距型號 CFM/m3/h HP/k W
MHSP-40 40 5/3.7
MHSP-80 80 5 /3.7
MHSP -150 120/150 5 /3.7
MHSP -320 270/320 10 /7.5
MHSP -450 370/450 15 /11
MHSP - 800 660/800 20 /15
MHSP -1500 1300/1500 50 /37
MHSP -3000 2500/3000 75 /55
異形螺距型號 CFM/m3/h HP/k W
MHHP-310 310 15/11.5
MHHP-600 600 25/19
MAHA變螺距干式羅桿真空泵，設計緊湊，運行高效。螺桿與軸一體加工，最顯著的特點是無需密封液，從而避免了密封液對介質的污染。它與傳統的等螺距設計不同，而是采用了專利的可變螺距設計，可節省30％的能量，氣體排放溫度更低，從而無須冷卻凈化。MHSP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達0.005Torr。MAHA系列結構緊湊，高效節能的螺桿式真空泵。該泵的最大特點是螺桿變螺距設計，該泵比其他競爭者的干泵節能達30%以上，排出的氣體溫度也更低。干式螺桿真空泵腔內完全無水無油，直通氣路設計，MAHA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。
螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內 ( 柱形等螺距 ) 進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。這種類型的泵如果選用適當的較簡單螺桿牙型截面，則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。
MAHA變螺距真空泵，異形螺桿真空泵與MAHA等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結構。螺桿轉子呈中空形，為懸臂支承結構。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過聯軸節與主動轉子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結構對排除含微塵氣體較為有利。
MHSP干式螺桿真空泵運轉時泵腔內完全無水無油，由于是直通氣路設計，MHDP和MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。由于泵腔內沒有金屬與金屬間的接觸，磨損也就大大減少了。MAHA真空泵MHSP SHHP和MHDP干式螺桿泵都是水冷系統.
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干式螺桿真空泵的典型應用：
• 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
• 半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
• 除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求
• 在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵
• 用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染
• 化學和醫藥流程
• 溶劑回收
• 成型
• 結晶
• 干刻
• 濺鍍
• 蒸氣回收>
1.MHDP等距干式螺桿真空泵
沒有油或水和過程氣體接觸
運行部件之間無金屬相互接觸
簡單緊固的設計可以處理工作時產生的副產品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
節省空間的C型發動機設計除去了連軸器和防護裝置的需要
泵內氣通道較短，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
MHDP-150 120/150 5/4
MHDP-330 270/330 9/7
MHDP-400 330/400 20/15
MHDP-800 660/780 26/20
• 沒有油或水和過程氣體接觸
• 運行部件之間無金屬相互接觸
• 簡單緊固的設計可以處理工作時產生的副產品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
• 節省空間的C型發動機設計除去了連軸器和防護裝置的需要
• 泵內氣通道較短，氣體排放更迅速
• 即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
MHSP-80 80 5 /3.7
MHSP -150 120/150 5 /3.7
MHSP -320 270/320 10 /7.5
MHSP -450 370/450 15 /11
MHSP - 800 660/800 20 /15
MHSP -1500 1300/1500 50 /37
MHSP -3000 2500/3000 75 /55
MHHP-310 310 15/11.5
MHHP-600 600 25/19
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