中國國家電子級超純水標準GB/T11446.1-1997
更新時間：2007-11-09 15:32
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摘要: 中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準
|
附1中國國家電子級超純水規格 GB/T11446.1-1997
|
|
電阻率
25℃
MΩ*cm |
硅
≤μg/L |
銅
≤μg/L |
鋅
≤μg/L |
鎳
≤μg/L |
鈉
≤μg/L |
鉀
≤μg/L |
氯
≤μg/L |
>1μm顆粒
≤個/ml |
細菌
≤個/ml |
硝酸根
≤g/L |
磷酸根
≤μg/L |
硫酸根
≤μg/L |
TOC
≤μg/L |
|
EW-I |
≥18* |
2 |
0.2 |
0.2 |
0.1 |
0.5 |
0.5 |
1 |
0.1 |
0.01 |
1 |
1 |
1 |
20 |
|
EW-II |
≥15 ** |
10 |
0 |
0 |
1 |
2 |
2 |
1 |
5 |
0.1 |
1 |
1 |
1 |
100 |
注*（95％時間不低于17），**（95％ 時間不低于13）
|
|
中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準
|
指標\級別 |
EW－Ⅰ |
EW－Ⅱ |
EW－Ⅲ |
EW-Ⅳ |
|
電阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％時間）不低于17 |
15，（95％時間）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
|
全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
|
＞1μm微粒數，最大值，個/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
|
細菌個數，最大值，個/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
銅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
鋅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
鎳，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
鈉，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
鉀，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
總有機酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
|
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