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中國電子行業超純水國家標準

更新時間：2007-10-26 10:12 來源： 作者: 閱讀：2822 網友評論0條

 

指 標 名 稱
一 級 水（EW-1）
二 級 水（EW-2）
　電阻率MΩ.CM. （25℃）
18(95‰時間)不低于17
15(95‰時間)不低于13
　　硅≤μg/L
2
10
　＞1μm　微粒數
0.1
5
　細菌個數≤/ml
0.01
0.1
　　銅　≤μg/L
0.2
1
　　鋅　≤μg/L
0.2
1
　　鎳≤μg/L
0.1
1
　　鈉≤μg/L
0.5
2
　　鉀　≤μg/L
0.5
2
　　氯≤μg/L
1
1
　硝酸根≤μg/L
1
1
　磷酸根≤μg/L
1
1
　硫酸根≤μg/L
1
1
　總有機碳≤μg/L
20
100

 

 

 

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